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HY-SW360은 박막화 전에 화합물 반도체 웨이퍼를 세라믹 플레이트에 장착하는 데 사용됩니다. 이 장비는 정밀한 정량 고체 왁스 분배, 독립형 공압 실린더 가압 및 정확한 온도 제어 기능을 갖추고 있어 장착 후 TTV ≤0.005mm를 달성합니다. 기계식, 공압-수압식 및 전기 제어 서브시스템으로 구성되어 웨이퍼 박막화 공정에 안정적이고 정밀한 왁스 장착을 제공합니다.
상표 :
HYRNUS품목 번호 :
HY-SW360주문량(최소 주문 수량) :
1 Set보증 :
One-Year Warranty and Lifetime Maintenance지불 :
T/T리드 타임 :
7-35 Days제품 원산지 :
ChinaIC 접합 및 실리콘 화합물 반도체 웨이퍼용 반자동 왁스 마운팅 장비
제품 소개
HY-SW360 반자동 왁스 마운팅 기계단면 웨이퍼 박막화의 전처리 과정으로 세라믹 캐리어에 웨이퍼 접합을 수행합니다.
이 제품은 ±0.02g의 정밀도로 고정량 왁스를 분사하는 고체 왁스 용융 방식을 채택했으며, 독립형 공압 실린더 압축 및 폐쇄 루프 정밀 온도 조절 기능을 갖춘 이중 가열-냉각 플랫폼을 갖추고 있습니다. 완성된 제품의 평탄도는 TTV ≤ 5 μm에 도달합니다. 4인치 및 6인치 웨이퍼용으로 설계된 이 장치는 PLC 중앙 제어 방식을 채택하고 통합된 기계, 공압-수압 및 전기 제어 하위 시스템으로 구성되어 안정적인 장기 작동과 웨이퍼 후면 연삭을 위한 일관된 고정밀 왁스 장착을 지원합니다.
제품 장점
1.고체 왁스 용융 방식을 채택하여 정확하고 정량적인 왁스 분배가 가능합니다.
2.가열 및 냉각 척은 척 표면 온도를 정확하게 제어하기 위해 정밀 가열 및 자동 냉각 시스템을 갖추고 있습니다.
3.정밀한 공기압 제어가 가능한 독립형 실린더 프레스 방식을 채택하여 왁스층 두께를 정확하게 제어할 수 있습니다.
4.장착 후 TTV ≤ 0.005mm.
응용 분야
이 장비는 주로 단면 박막화 전에 GaN, GaAs, 사파이어 및 SiC와 같은 웨이퍼를 세라믹 캐리어 표면에 장착하는 데 사용됩니다.
장비의 주요 시스템
| 시스템 카테고리 | 요소 | 사양/브랜드 |
| 기계 구조 | 판금 | 국가 표준 60×60×5 정사각형 튜브 + 산업용 베이킹 페인트 외장 프레임 |
| 부분품 | 표면 경질 크롬 도금 처리된 45# 강철 / 표면 양극 산화 처리된 스테인리스강 304 / AL6061 | |
| 공압 압력 유지 메커니즘 | 자체 제작 | |
| 가열 단계 메커니즘 | 자체 제작 | |
| 전달 메커니즘 | 자체 제작 | |
| 선형 가이드 | THK / HIWIN / TBI | |
| 전기 제어 시스템 | PLC | 파나소닉 / 미쓰비시 / 델타 |
| 터치스크린 | 와인뷰 / 와인텍 / 어드밴텍 | |
| 전원 보호 | 누설 차단기 (Mingwei / Schneider) | |
| DC 전원 공급 장치 | 스위칭 전원 공급 장치(밍웨이/슈나이더) | |
| 공압 시스템 | 에어 실린더 | SMC / CKD / FESTO |
| 압력 제어 | SMC / CKD / FESTO | |
| 압력 조절 | SMC / CKD / FESTO | |
| 압력 표시 | SMC / CKD / FESTO | |
| 솔레노이드 밸브 | SMC / CKD / FESTO |
기술적 매개변수
| 매개변수 이름 | 사양 |
| 모델 | HY-SW360 |
| 적용 가능한 웨이퍼 크기 | 4인치 / 6인치 |
| 흡입 로봇 스트로크 | 450mm |
| 흡입 로봇 축 수량 | 단축형 (3축형 설계는 추후 공개 예정) |
| 흡입 로봇 재배치 정확도 | ±0.05 mm |
| 흡입 로봇 진공 압력 범위 | -70 ~ -90 kPa |
| 세라믹 캐리어 치수 | Φ360 × 15 mm |
| 고체 왁스의 사용 수명 | 왁스 스틱 하나당 웨이퍼 350개 |
| 왁스 디스펜서 온도 조절 범위 | 40℃ ~ 130℃ |
| 왁스 디스펜서의 작동 온도 | 100℃ |
| 왁스 분배 정확도 | ±0.02g |
| 왁스 디스펜서 재배치 정확도 | ±0.05 mm |
| 가열판 예열 시간 | 3분 |
| 가열판 냉각 시간 | 3분 |
| 가열판 온도 조절 범위 | 60℃ ~ 130℃ |
| 가열판 온도 제어 정밀도 | ±0.5℃ |
| 프레스 실린더 로드 | 100~1000kg @ 0.6MPa ±1% FS |
| 왁스층 균일성 | TTV ≤ 5 μm |
| 일반 공기 공급 | 0.4~0.7 MPa (건조 및 오일 미함유) |
| 주 제어 시스템 | PLC |
| 총 전력 소비량 | 약 7kW |
| 기계 총 중량 | 약 1000kg |
| 전체 크기 (길이×너비×높이, mm) | 1550×1550×1900 (삼색 표시등 높이 제외) |
현장 시설 요구사항
| 범주 | 목 | 사양 |
| 현장 시설(보조 장비) | 전원 공급 장치 | 기기 전압: AC220V±10%, 전류: 20A, 출력: 1.2kW |
| 환경 요구사항 | 작업장 온도: 15°C~25°C, 상대 습도: 80% 이하 | |
| 공기 공급 | 압력: 0.4~0.6 MPa, 유량: >20 L/min, 배관 직경: Φ12 mm | |
| 냉각수 공급 | 유입수 온도: 3~22°C, 순환수 유량: 15~30L/min, 순환수 공급 압력: 0.2MPa |
제품 상세 정보
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