HY-WD801은 6~8인치 프레임 웨이퍼에 대해 최대 Φ210mm의 공작물을 220mm의 X/Y 이동 거리로 처리할 수 있습니다. HY-WD1201과 동일한 동작 정밀도, 스핀들 성능, 블레이드 보호 및 제어 시스템을 공유하며, 0.1~1000mm/s의 이송 속도, 10000~60000rpm의 스핀들 속도 및 최대 Φ58mm의 블레이드를 지원합니다. 컴팩트한 크기(10208901750mm, 800kg)와 작은 설치 공간을 갖춘 이 장비는 웨이퍼, 광학 부품 및 세라믹 기판의 소량 및 중량 배치 정밀 다이싱에 적합하도록 설계되었습니다.
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