실리콘 웨이퍼 슬라이싱 기계

HY-WD802는 수입산 고속 스핀들 2개, 동축 및 링 듀얼 비전, 내장형 NCS 높이 측정, BBD 감지 및 휠 드레싱 기능을 갖추고 있습니다. NSK 변속기와 레니쇼(Renishaw) 폐루프 선형 스케일을 탑재하여 탁월한 위치 정밀도를 제공하며, 전력 소자, IC 및 광전자 세라믹의 대량 생산을 위한 실리콘, SiC, GaN 및 복합 웨이퍼의 정밀 절삭 작업을 수행합니다.

HY-WD801은 6~8인치 프레임 웨이퍼에 대해 최대 Φ210mm의 공작물을 220mm의 X/Y 이동 거리로 처리할 수 있습니다. HY-WD1201과 동일한 동작 정밀도, 스핀들 성능, 블레이드 보호 및 제어 시스템을 공유하며, 0.1~1000mm/s의 이송 속도, 10000~60000rpm의 스핀들 속도 및 최대 Φ58mm의 블레이드를 지원합니다. 컴팩트한 크기(10208901750mm, 800kg)와 작은 설치 공간을 갖춘 이 장비는 웨이퍼, 광학 부품 및 세라믹 기판의 소량 및 중량 배치 정밀 다이싱에 적합하도록 설계되었습니다.