7인치 PLC 터치스크린이 장착된 25L 실험실용 진공 플라즈마 세척기

제품 소개

NE-PE25H 진공 플라즈마 세척기 본 장비는 대학 연구실, 기업 R&D 센터 및 소량 생산에 이상적입니다. 군용 등급 용접으로 제작된 정사각형 스테인리스 스틸 진공 챔버, 일체형 이중 전극, 두 개의 독립적인 가스 채널, 그리고 후면 배기 순환 방식의 전면 개방 구조를 갖추고 있어 균일한 가스 흡입과 뛰어난 내식성을 제공합니다. 사용자 친화적인 터치스크린은 실시간 파라미터 모니터링, 데이터 추적이 가능한 다중 그룹 저장 공정 레시피 기능을 지원하며, 다양한 가스 비율 테스트를 위한 별도의 가스 혼합기가 필요 없습니다.

이 플라즈마 시스템은 기판 접착력과 친수성을 크게 향상시켜 유기 오염 제거, 표면 친수성/소수성 개질, 정밀 미세 에칭, PDMS 미세유체 칩 접합 및 포토레지스트 소각을 포함한 핵심 공정에 안정적이고 반복 가능한 처리를 제공합니다. 재료 접합, 코팅, 기판 박막 증착 및 각종 반도체 신소재 연구 프로젝트에 널리 적용되고 있습니다.

제품 적용

제품 특징

1. 군용 등급 용접으로 가공된 스테인리스강 진공 챔버는 탁월한 밀폐 성능과 우수한 내식성을 자랑합니다.

2. 내장형 2층 전극과 다층 처리 트레이를 통해 공간 활용도를 크게 향상시켰습니다.

3. 사용자 친화적인 터치스크린 인터페이스를 통해 실시간 공정 매개변수를 표시합니다.

4. 여러 공정 레시피를 저장하여 원클릭으로 불러올 수 있으며, 모든 작업 데이터를 추적할 수 있습니다.

5. 두 개의 독립적인 가스 채널을 갖추고 있어 별도의 가스 혼합기가 필요 없으며, 다양한 가스 비율 배합을 편리하게 테스트할 수 있습니다.

6. 전면 개방형 도어와 후면 배기구 설계로 내부에서 역동적인 가스 순환이 이루어집니다. 균일한 공기 흡입으로 일관된 청소 효과를 제공합니다.

기계 외형 도면 및 진공 챔버 다이어그램

 

 

기술 사양

 

아니요.	범주	사양 항목	매개변수
1	플라즈마 발생기	힘	0~1000W, 무단계 조절 가능
		빈도	40kHz
2	진공 반응 챔버	챔버 재질	수입산 316 미러 스테인리스 스틸, 군용 등급 밀봉 처리
		챔버 용적	380(가로)×390(세로)×170(높이) mm; 25L
		유효 처리 공간	333(가로) × 320(세로) mm
3	방전 전극	전극	특수 고전도성 알루미늄 합금 전극 3개
		처리 계층	2층
		방전 모드	CCP 용량 결합 플라즈마 반응 방전
		양극 및 음극 전극 간격	50mm
		트레이 클리어런스	30mm
4	가스 경로 제어	질량 유량 제어기	300 SCCM
		가스 회로 설계	균일한 공기 흡입구 설계로 일관된 세척 및 에칭 결과를 제공합니다.
		가스 통로	2개의 가스 라인, O와 호환 가능₂, 아르, 엔₂, 시간₂, 등.
			(부식성 가스가 필요한 경우 사전에 알려주시기 바랍니다.)
5	진공 측정	진공 측정 시스템	측정 범위: 5×10⁻² ~ 1.0×10⁵ Pa
			측정 정확도: 0.1 Pa
6	펌핑 시스템	진공 펌프	16 m³/h
		진공 파이프라인	스테인리스강 튜브 + 공압 밸브
7	제어 시스템	제어 모드	PLC
		터치스크린	7인치 터치 패널
		소프트웨어 프로그램	자체 개발 특허 플라즈마 제어 시스템
8	현장 조건	전원 공급 장치	220V, 50/60Hz, 13A
		가스관 연결부	Φ6 mm
		요구되는 가스 순도	99.99%
		입구 가스 압력	0.3–0.6 MPa
		배기 포트	KF25 플랜지
9	전체 기계 사양	전체 치수	650mm(길이) × 649mm(너비) × 666mm(높이)
		순중량	80kg
		총 전력 소비량	3kW

 

운영 환경 (고객 준비 사항)

 

아니요.	목	요구 사항
1	전력 공급 및 전력망 상태	입력: 220V, 50/60Hz; 허용 전압 변동률 ±10%. 보호 접지선은 국제 표준을 준수해야 합니다. 장비 설치 장소 주변에 강한 전자기 간섭이 없어야 합니다.
2	설치 주변 환경 조건	주변 온도: 0~40°C; 상대 습도: 15~60%.
3	가스 공급원 준비	산소, 아르곤, 질소, 수소 등의 가스 실린더(감압 밸브 장착 필수). 유입 가스 압력 > 0.3 MPa; 가스 연결구 직경: Φ6 mm.
4	배기 덕트	진공 펌프의 배기 포트에 연결하십시오(클린룸 환경에서는 필수).